「SEMICON JAPAN」 出展！

2018.11.15

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電子システム工学科 六倉信喜教授、篠田宏之准教授の研究室が「SEMICON JAPAN（セミコン・ジャパン）」に出展します。
SEMICON JAPANは、半導体製造装置・材料の世界有数の国際展示会です。
世界から750以上の出展社が最先端の製造技術を展示し、技術・ビジネスの様々なテーマを取り上げるセミナーや交流イベント等も開催します。

六倉教授、篠田准教授の研究室では、各種化合物半導体単結晶層の多層薄膜の形成を目的とした「低コスト・マルチターゲット型スパッタエピタキシー装置」の開発を行っています。
本展示では、高品質化合物半導体単結晶層の成長を低コスト・低環境負荷で実現可能なスパッタエピタキシー装置についてご紹介します。